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TS系列交流伺服系統(tǒng)在單晶硅生長(zhǎng)爐上的應(yīng)用
時(shí)間:2019-06-11
和利時(shí)電機(jī)的TS系列交流伺服系統(tǒng),為某單晶硅生長(zhǎng)爐生產(chǎn)企業(yè)提供了定制化設(shè)計(jì)方案,實(shí)現(xiàn)了軟軸提拉型單晶硅生長(zhǎng)爐提拉過程的精確控制。

     在光伏技術(shù)飛速發(fā)展的今天,利用單晶硅所生產(chǎn)的太陽能電池可以直接把太陽能轉(zhuǎn)化為光能,實(shí)現(xiàn)了邁向綠色能源革命的開始。單晶硅是一種非常好的半導(dǎo)材料,用于制造太陽能電池、半導(dǎo)體器件等產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造。用單晶硅制成的電子設(shè)備已廣泛應(yīng)用科技、軍事、民用等于各個(gè)領(lǐng)域。軟軸提拉型單晶硅生長(zhǎng)爐是在惰性氣體環(huán)境中,以石墨電阻加熱器,將一定純度的硅材料熔化,用提拉法生長(zhǎng)無位錯(cuò)單晶硅,其提拉控制的精度與性能直接影響單晶硅生成的數(shù)量和質(zhì)量。

       和利時(shí)電機(jī)公司為北京某企業(yè)提供了單晶硅生長(zhǎng)爐伺服控制的定制化設(shè)計(jì)方案,實(shí)現(xiàn)了軟軸提拉型單晶硅生長(zhǎng)爐提拉過程的精確控制。

       單晶硅生長(zhǎng)爐的提拉過程需保證A、B兩軸同步控制,并具備互鎖功能,即A軸報(bào)警時(shí)B軸立即停止工作,制動(dòng)器動(dòng)作鎖住電機(jī)。TS系列交流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通過設(shè)置編碼器輸出接口,讓A軸編碼器的輸出信號(hào)作為B軸驅(qū)動(dòng)器的輸入信號(hào)以此保證A、B兩軸絕對(duì)同步;并在程序中設(shè)置使能信號(hào)長(zhǎng)短判斷,當(dāng)使能信號(hào)的脈沖寬度足夠長(zhǎng)時(shí),判斷為正常使能信號(hào);當(dāng)使能信號(hào)的脈沖寬度較短時(shí),判斷為給電機(jī)的回零位信號(hào),觸發(fā)系統(tǒng)停機(jī),轉(zhuǎn)手動(dòng)調(diào)節(jié)設(shè)備位置。


 

TS系列伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)突出特點(diǎn):

CANopen通信功能:實(shí)現(xiàn)了CANopen通訊協(xié)議在伺服系統(tǒng)中的應(yīng)用,定義了4類標(biāo)準(zhǔn)的通信接口:SDO(服務(wù)數(shù)據(jù)對(duì)象)、PDO(過程數(shù)據(jù)對(duì)象)、NMT(系統(tǒng)管理命令)和特殊對(duì)象,實(shí)現(xiàn)通信、網(wǎng)絡(luò)管理和緊急情況處理等功能,物理介質(zhì)基于ISO1189標(biāo)準(zhǔn)。

伺服全閉環(huán)控制:針對(duì)定位精度或動(dòng)態(tài)響應(yīng)高的設(shè)備,解決中間環(huán)節(jié)傳動(dòng)帶來的精度誤差,最終實(shí)現(xiàn)高精度、高響應(yīng)性定位。

高精度定位:配置23位(八百萬線)高精度絕對(duì)值碼盤,伺服系統(tǒng)控制精度及整體性能與國外品牌產(chǎn)品發(fā)展同步。

示波器功能:在TS伺服驅(qū)動(dòng)器新增示波器功能,可以通過PC機(jī)監(jiān)控特性曲線及修改驅(qū)動(dòng)器參數(shù),方便伺服特性現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試。

 

 

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